厚度检测

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白光干涉膜厚检测仪

作者:捷扬光电 时间:2018-04-02 来源:未知

白光干涉膜厚检测仪

产品简介:

商品详情






JFD-2000是一台非接触式膜厚检测仪,采用光学干涉的原理检测膜厚。可以测量同时可测干膜和湿膜。检测范围为0.5微米-100微米。

 

一、仪器检测原理外部光路结构:

 

光从光源发出,经过光纤导到反射探头打出,聚焦在在样品上。薄膜上下表面都会产生反射光,如下图所示:

                               

 

两种反射光由反射探头采集,并由另一根光纤导入到分光结构,进行光谱排列。测量出干涉条纹:测量谱图:通过光谱软件,将样品放置于检测位置,

可以得到反射率谱线,如下图所示:

                                                       

再经过软件内部处理,得到干涉条纹的极大值和极小值。得到极值后再通过厚度公式,即可算出膜层厚度。

 

 

 

二、 仪器适用范围

l  湿膜厚度检测。
l  干膜、硬涂层厚度检测。
l  玻璃、塑料、凝胶、光刻胶、电介质厚度检测。
l  汽车工业中薄膜、光油、底漆厚度检测。
l  医疗设备中药囊、药品覆膜、包装薄膜厚度检测。
l  光伏产业中透明导电氧化膜、减反射膜厚度检测。
l  食品包装中卷式薄膜、液体隔离膜厚度检测。

三、 样品要求

1、 薄膜在200-1100nm内的某一波段可部分透光。
2、 薄膜厚度范围:0.5um-100um(不同厚度范围采用不同配置)。
3、 基底表面和薄膜表面平整光洁。

四、产品配置

l 主控制箱内部包含光源、光谱仪、运动系统控制器。

2、通过USB线与电脑连接。

  12V3A供电。

                                                       

片状支架通过光纤与控制箱连接。

                                                       

五、 仪器主要参数
 

厚度检测 0.5-100um
光谱范围 400-1000nm
精度 0.05um或3%
分辨率 0.001um
重复性 0.02um
重现性 0.05um
厚度单位 um
重复单位 gsm
主机尺寸 300x223x130
主机重量 8.8kg
探头 1.5米Y型光纤探头
探头支架重量 1.5kg
电源 220V/50Hz
数据输出 软件保存到数据库
样品尺寸 直径大于10nm


 

 

六、 重复性、重现性数据报告

重复性说明:

样品不动,重复测量50次的厚度值。
 

重现性说明:

检测样品点不变,反复拿出样品和放入样品检测50次的厚度值。
 

 
 

七、仪器操作
 

检测操作,详见操作说明书和软件说明书。

                                


 

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