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光纤光谱仪光栅的选择与应用

作者: admin 时间:2018-03-13 来源:未知
摘要:光纤光谱仪 的应用领域非常广泛,如农业、天文、汽车、生物、化学、镀膜、发射光谱测量、LED测量、薄膜厚度测量等等,下面为大家详细介绍一下: 1、发射光谱测量 发射光谱测量可...


        光纤光谱仪的应用领域非常广泛,如农业、天文、汽车、生物、化学、镀膜、发射光谱测量、LED测量、薄膜厚度测量等等,下面为大家详细介绍一下:

  1、发射光谱测量

  发射光谱测量可以用不同的实验布局和波长范围来实现,还要用到余弦校正器或积分球。发射光谱测量可以在紫外/可见和可见/近红外波长范围内测量。

对于发射光谱的绝对测量,光谱仪可以配置成波长范围从200-400nm或350-1100nm,或组合起来实现紫外/可见200-1100nm。

为了使实验布局更灵活,用可见/近红外定标光源(LS-1-CAL)或紫外/可见/近红外定标光源(DH2000-CAL)可以在用户现场进行定标。

  2、LED测量

  最简单而且迅速地测量LED的整个光通量的方法就是使用一个积分球,并实现辐射量的绝对测量。所测光源的光谱发光强度还可以用μW/cm2/nm来计算、显示并存储。另外的窗口还可以显示大约10个参数:辐射量μW/cm2, μJ/cm2, μW或μJ;光通量lux或lumen,色轴X, Y, Z, x, y, z, u, v和色温。

  3、薄膜厚度测量

  光学的膜厚测量系统基于白光干涉测量原理,可以测量的膜层厚度10nm-50μm,分辨率为1nm。薄膜测量在半导体晶片生长过程中经常被用到,因为等离子体刻蚀和淀积过程需要监控;其它应用如在金属和玻璃材料基底上镀透明光学膜层也需要测量膜层厚度。

 光栅尺如何选择及使用呢?选择光栅主要是根据实用波长范围来选择光栅的刻线数和闪耀波长。

  一、如何选择光栅

  1、光栅的刻线,光栅刻线多少直接关系到光谱分辨率,刻线多光谱分辨率高,刻线少光谱覆盖范围宽,两者要根据试验灵活选择。

  2、闪耀波长,闪耀波长为光栅最大衍射效率点,因此选择光栅时应尽量选择闪耀波长在实验需要波长附近。如实验为可见光范围,可选择闪耀波长为500nm。

  3、使用范围。

  4、光栅效率,光栅效率是衍射到给定级次的单色光的比值。光栅效率愈高,信号损失愈小。为提高此效率,除提高光栅制作工艺外,还采用特殊镀膜,提高反射效率。

  二、光栅尺怎么使用

  1、应该把光栅尺和读书头分别装在设备的静止部件和运动部件上。

  2、调整光栅尺,确保光栅尺和设备的运动轨迹平行(一般来说平行度控制在0.05mm内)。

  3、将读数头的电缆连接器插到数显表、数控系统或者数据采集一起上(注意读数头的接口定义),就可以测量读数头与光栅尺之间的位移了。

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